| 型號 | 最大行程 (mm) | 反覆定位精度 (μm) | 動負荷 (kg) | 靜負荷 (kg) | 行走平行度 (mm) | 行走垂直度 (mm) | 伺服馬達 |
| TKCH-XY | X:350 Y:300 | 10μm | 30 | 0.01 | 客製 | 400W |
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台灣光技精密機械有限公司
| 型號 | 最大行程 (mm) | 反覆定位精度 (μm) | 動負荷 (kg) | 靜負荷 (kg) | 行走平行度 (mm) | 行走垂直度 (mm) | 伺服馬達 |
| TKCH-XY | X:350 Y:300 | 10μm | 30 | 0.01 | 客製 | 400W |